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Centrotherm

CentroTherm VERTICOO200立式炉
产品描述
参数
【产品简介】
 
centrotherm c.VERTICOO 200为高批量生产和产能最大化而设计,并具有高度的灵活性,适于所有的标准大气压与低压化学气相沉积工艺。优化的单管双舟传送系统,使搬运时间缩至最短,同时降低拥有成本与维修成本。
 
【适用工艺】
 
·退火
·氧化
·扩散
·LPCVD
 
【主要优点】
 
·每批加工量多达150片晶圆
·自对准
·双舟输送
·水冷加热匣
·占地面积小
·可以并排安装
 
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发布时间:2019-08-21 00:00:00

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