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CentroTherm OXIDTOR150高温氧化炉
产品描述
参数
【产品简介】
centrotherm c.OXIDATOR 150是一种高温炉，是商先创公司热解决方案为碳化硅（SiC）的氧化专门设计的。
工艺温度高达1500℃，可使用氧气（O2）、一氧化二氮（N2O）、氧化氮（NO）、二氧化氮（NO2）或湿法进行氧化，从而使灵活性与业经证明的工艺质量完美地结合，拥有无金属加热与双真空装备。
【适用工艺】
·氧化
【产品优点】
·2英寸、3英寸、4英寸与6英寸晶圆或任何组合的批量加工
·最高加热速度达到7.5度/分钟
·批量多达50片（150毫米）晶圆
·加工压力范围从850毫巴到大气压
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发布时间：2019-08-21 00:00:00
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