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CentroTherm HORICOO300卧式热反应系统
产品描述
参数
【产品简介】
centrotherm c.HORICOO 300卧式批处理系统是用于先进的高产能的 300 mm晶圆加工平台。 设备平台由两个各含4层炉管的系统及一个自动化装置装载系统组成。加热系统包括5个双区加热单元，提供centrotherm出众的温度均匀性以及理想稳定的工艺。 centrotherm Hydrox系统同时支持干氧及湿氧工艺。支持高达1200°C高温工艺，其氧化和Drive-in工艺可促进研发更具有低界面陷阱密度（Dit）和高沟道迁移率的氧化物层。
【适用工艺】
·退火
·扩散
·氧化
·LPCVD
·PECVD
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发布时间：2019-08-21 00:00:00
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