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垂直量程 |
1mm |
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垂直分辨率 |
最大 0.1nm |
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单次扫描长度 |
55mm ( 最大 300mm) |
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最大样品高度 |
50mm |
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样品台尺寸 |
300mmX300mm （自动） 350mmX350mm（自动） |
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样品台旋转 |
两点定位 360 度连续旋转 |
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台阶测试精度 |
<4Å( 1sigma on 1μm step) |
|
观察系统 |
双镜头设置 |
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