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Bruker DektakXT台阶仪
产品描述
参数
【产品简介】
 
全新的 DektakXT 成为世界上第一台采用具有单拱龙门式设计,配备全彩
HD 摄像机,并且利用 64 位同步数据处理模式完成最佳测量和操作效率的台阶仪。过去四十多年间,布鲁克的台阶仪研制和生产一直在实践上不断实现创新,
DektakXT 延续了这种开创性的风格。
 
【主要应用】
 
1、 主要用于膜厚、应力、表面粗糙度和表面形貌的测量,实现纳米尺度的表面轮廓测量;
2、 广泛应用于半导体器件、MEMS、金属镀层、油漆镀层、玻璃镀膜、太阳能、LED、触摸屏、医疗等领域。
 
【主要参数】
 

垂直量程

1mm

垂直分辨率

最大 0.1nm

单次扫描长度

55mm ( 最大 200mm)

最大样品高度

50mm

样品台尺寸

100mmX100mm (手动) 150mmX150mm(自动)

样品台旋转

360 度连续旋转

台阶测试精度

<5Å( 1sigma on 1μm step)

 

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发布时间:2019-08-21 00:00:00

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