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Bruker NPFLEX白光干涉仪

三维光学轮廓仪

产品描述

参数

【产品简介】

NPFlex 三维表面测量系统基于白光干涉原理，为精密机械加工领域大样品表面表征测量提供了适合的解决方案，开放式的龙门设计提供了更大测量空间，克服了以往某些零件由于角度或取向造成的测量困难。NPFlex 为用户提供比接触式方法所能得到的更多数据量、更高分辨率和更好的重复性，使它成为精密机械加工领域优异的测量方案可广泛用于医疗植入，航空航天、汽车或精密加工上的大型、异型工件的测量。

【主要应用】

1、用于较大范围的样品表面形貌、粗糙度、三维轮廓等特性的快速测量；

2、广泛应用于半导体材料表面粗糙度、陶瓷基板的翘曲度、激光刻蚀痕迹、BUMP 三维结构、MEMS 器件关键尺寸、TSV 孔尺寸和精密机械加工部件等领域的测量。

【主要参数】

RMS 重复性	0.004 nm
垂直分辨率	0.1nm
最大样品尺寸	H: 249mm D: 304mm W: 304mm
样品台承载	50kg
横向取样间隔	0.1µm 至 13.2µm ( 由配备的 FOV 目镜和干涉物镜倍数决定 )
光学横向分辨率	最高 350nm
台阶测试精度	0.75%
台阶重复性	<0.1% 1σ
倾斜调整	手动 ± 45° / 自动调节 ± 6°
垂直扫描速度	最快 96um / 秒，用户可自行设定
认证标准	CE, NRTL, T-Mark, ROHS，ANSI B46.1