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Bruker NPFLEX白光干涉仪
产品描述
参数
【产品简介】
 
NPFlex 三维表面测量系统基于白光干涉原理,为精密机械加工领域大样品表面表征测量提供了适合的解决方案,开放式的龙门设计提供了更大测量空间,克服了以往某些零件由于角度或取向造成的测量困难。NPFlex 为用户提供比接触式方法所能得到的更多数据量、更高分辨率和更好的重复性,使它成为精密机械加工领域优异的测量方案可广泛用于医疗植入,航空航天、汽车或精密加工上的大型、异型工件的测量。
 
【主要应用】
 
1、 用于较大范围的样品表面形貌、粗糙度、三维轮廓等特性的快速测量;
2、 广泛应用于半导体材料表面粗糙度、陶瓷基板的翘曲度、激光刻蚀痕迹、BUMP 三维结构、MEMS 器件关键尺寸、TSV 孔尺寸和精密机械加工部件等领域的测量。
 
【主要参数】
 

RMS 重复性

0.004 nm

垂直分辨率

0.1nm

最大样品尺寸

H: 249mm D: 304mm W: 304mm

样品台承载

50kg

横向取样间隔

0.1µm 至 13.2µm ( 由配备的 FOV 目镜和干涉物镜倍数决定 )

光学横向分辨率

最高 350nm

台阶测试精度

0.75%

台阶重复性

<0.1% 1σ

倾斜调整

手动 ± 45° / 自动调节 ± 6°

垂直扫描速度

最快 96um / 秒,用户可自行设定

认证标准

CE, NRTL, T-Mark, ROHS,ANSI B46.1

 

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发布时间:2019-08-21 00:00:00

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