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Bruker ContourGT-K 白光干涉仪
产品描述
参数
【产品简介】
 
ContourGT-K 三维光学轮廓仪具有完善的表面测量和分析功能,拥有工业领先的测量性能和灵活性。采用专利白光干涉技术,超大视野内埃级至毫米级的垂直计量量程,具有业界最高的垂直分辨率和测量重复性。其直观的用户界面方便用户快速高效的获得材料表面粗糙度、二维 / 三维表面轮廓以及多种高精度数据,广泛应用于 IC 半导体、LED、太阳能电池、薄膜材料、MEMS、精密机械零部件、摩擦磨损等各个领域,满足各种表面测量的实际需求。
 
【主要应用】
 
1、 用于较大范围的样品表面形貌、粗糙度、三维轮廓等特性的快速测量;
2、 广泛应用于半导体材料表面粗糙度、陶瓷基板的翘曲度、激光刻蚀痕迹、BUMP 三维结构、MEMS 器件关键尺寸、TSV 孔尺寸和精密机械加工部件等领域的测量。
 
【主要参数】
 

垂直量程

0.1nm 至 10mm(闭环无拼接)

垂直分辨率

0.1nm

电动样品台移动范围

±150mm (XY 轴 )/100mm(Z 轴 ),XYZ 三轴自动

横向取样间隔

0.1µm 至 13.2µm ( 由配备的 FOV 目镜和干涉物镜倍数决定 )

光学横向分辨率

最高 350nm

台阶测试精度

0.75%

台阶重复性

<0.1% 1σ

倾斜调整

手动样品台调节 ± 6°

垂直扫描速度

最快 47um / 秒,用户可自行设定

转塔调节

手动自动可选

 

分析软件功能

可进行两维和三维分析,多区域自动分析可对目标区域进行统计编号,可自动分析目标区域内高度或深度分布情况),可分析表面粗糙度,可分析样品表面缺陷及台阶高度, 并可对多次测量数据进行统计,得到详细的统计报告含平均值,方差,最小值,最大值等。可进行编程自动多点测量。可提供的数据包括高逼真度的三维图像,二维剖面图, 以及大量完整的表面粗糙度参数。

 

 
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发布时间:2019-08-21 00:00:00

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