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Bruker ContourGT-K 白光干涉仪

三维光学轮廓仪

产品描述

参数

【产品简介】

ContourGT-K 三维光学轮廓仪具有完善的表面测量和分析功能，拥有较高的测量性能和灵活性。采用白光干涉技术，大视野内埃级至毫米级的垂直计量量程，具有高垂直分辨率和测量重复性。其直观的用户界面方便用户快速高效的获得材料表面粗糙度、二维 / 三维表面轮廓以及多种高精度数据，广泛应用于 IC 半导体、LED、太阳能电池、薄膜材料、MEMS、精密机械零部件、摩擦磨损等领域，满足各种表面测量的实际需求。

【主要应用】

1、用于较大范围的样品表面形貌、粗糙度、三维轮廓等特性的快速测量；

2、广泛应用于半导体材料表面粗糙度、陶瓷基板的翘曲度、激光刻蚀痕迹、BUMP 三维结构、MEMS 器件关键尺寸、TSV 孔尺寸和精密机械加工部件等领域的测量。

【主要参数】

垂直量程	0.1nm 至 10mm（闭环无拼接）
垂直分辨率	0.1nm
电动样品台移动范围	±150mm (XY 轴 )/100mm(Z 轴 ),XYZ 三轴自动
横向取样间隔	0.1µm 至 13.2µm ( 由配备的 FOV 目镜和干涉物镜倍数决定 )
光学横向分辨率	最高 350nm
台阶测试精度	0.75%
台阶重复性	<0.1% 1σ
倾斜调整	手动样品台调节 ± 6°
垂直扫描速度	最快 47um / 秒，用户可自行设定
转塔调节	手动自动可选
分析软件功能	可进行两维和三维分析，多区域自动分析（可对目标区域进行统计编号，可自动分析目标区域内高度或深度分布情况），可分析表面粗糙度，可分析样品表面缺陷及台阶高度，并可对多次测量数据进行统计，得到详细的统计报告（含平均值，方差，最小值，最大值等）。可进行编程自动多点测量。可提供的数据包括高逼真度的三维图像，二维剖面图，以及大量完整的表面粗糙度参数。