Dimension®FastScan ™是布鲁克公司的一个技术创新。快速扫描系统与稳定低噪音平台相结合,可选低噪声,高精度扫描,高速率的扫描。为满足原子力显微镜使用者对提高使用效率的需求,这套快速扫描系统,在不降低分辨率,不增加设备复杂性,不影响仪器操作成本的前提下,帮助用户实现了即时快速得到高分辨高质量图像的愿望。
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Icon AFM 扫描管 |
FastScan AFM 扫描管 |
XY 方向扫描范围 |
90μm x 90μm(典型值),85μm(最小值) |
35μm x 35μm(典型值), 30μm 最小值) |
Z 方向扫描范围 |
10μm(典型值),9.5μm(最小值) |
≥ 3μm |
纵向噪音水平 |
<30pm RMS 值(在合适的环境下,典型的成像带宽最高可达 625Hz) |
<40pm RMS 值(在合适的环境下,典型的成像带宽最高可达 625Hz) |
X-Y 最大针尖速度 (1% 轨迹误差 ) |
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>2mm/S |
Z 最大针尖速度 |
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12mm/S |
XY 方向闭环噪音水平 |
≤ 0.15nm RMS 值(典型的成像带宽条件最高可达 625Hz) |
≤ 0.20nm RMS(典型的成像带宽条件最高可达 2.5KHz) |
Z方向闭环噪音水平 |
35pm RMS 值(在合适的环境下,典型的成像带宽最高可达 625Hz);50pm RMS 值,力曲线带宽 (0.1Hz 到 5kHz) |
30pm RMS (在合适的环境下,典型的成像带宽最高可达 625Hz) |
XY 方向平坦度(30μm 范围) |
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≤ 3nm |
XYZ 方向的非线性参数 |
<0.5% |
<0.5% |
样品尺寸和固定方式 |
210mm 直径,真空吸附,≤ 15mm 厚 |
210mm 直径,真空吸附,≤ 15mm 厚 |
马达驱动样品台 (X-Y 轴 ) |
180mm × 150mm 可 观 测 区 域; 单 向 2μm 重复性;双向 3μm 重复性 |
180mm × 150mm 可 观 测 区 域; 单 向 2μm 重复性;双向 3μm 重复性 |
光学系统 |
5 百 万 像 素 数 字 摄 像 头;180μm 至 1465μm 可视区域 ; 数字化缩放,马达驱动聚焦 |
5 百 万 像 素 数 字 摄 像 头;130μm 至 1040μm 可视区域 ; 数字化缩放,马达驱动聚焦 |
控制器 |
NanoScope V |
NanoScope V |
震动隔离 |
可选防震平台或隔音防震平台,气动式 |
可选防震平台或隔音防震平台,气动式 |
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