X-Y 方向扫描范围

90μm x 90μm（典型值），85μm（最小值）

Z 方向扫描范围

10μm（典型值）， 9.5μm（最小值）

纵向噪音水平

<50pm RMS 值（在合适的环境，典型的成像带宽条件下 ( 最高可达 625Hz)）

XY 方向闭环噪音水平

<0.15nm RMS 值（在典型的成像带宽条件下 ( 最高可达 625Hz)）

XYZ 三方向的非线性

<0.5%（典型值）

样品尺寸和固定方式

150mm 直径，真空吸附，15mm 厚 ;

可选择垫块的情况下，最高可达 40mm 厚

马达驱动样品台 (X-Y 轴 )

150mm x 150mm 可观测区域； 可真空吸附， 可编程进行多区域扫描，可 360 旋转

光学系统及下针机制

5 百万像素数字摄像头；

180μm 至 1465μm 可视区域 ;

数字化缩放，马达驱动聚焦 ，单轴垂直下针，软件自动控制

信号输入输出

控制器内置可配置的信号输入 / 输出 ;

包括可定制的信号输入输出，数字化反馈和双数字化锁相放大器

单点谱线

三轴闭环控制可实现 point-and-shoot 式定位和谱线测量 ; 内置了热调谐方式的弹性常数校准功能 ;

温度控制

可选 -35 至 +250℃加热 / 冷却附件； 包括气体充换功能；