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EVG

EVG 20检测系统
产品描述
参数

产品简介:

EVG 20是一款红外快速检测系统,主要用于检测键合空洞,是熔融键合设备的合适搭档。

 

主要特点及参数:

·动态成像

·整个晶圆检查

·最小可检测出0.5mm的空洞

·可作为单独的设备使用也可集成于EVG的大型工艺平台中

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发布时间:2019-08-21 00:00:00

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