EVG 20检测系统
所属分类：
测试与辅助工艺设备
键合测试
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产品简介：
EVG 20是一款红外快速检测系统，主要用于检测键合空洞，是熔融键合设备的合适搭档。
主要特点及参数：
·动态成像
·整个晶圆检查
·最小可检测出0.5mm的空洞
·可作为单独的设备使用也可集成于EVG的大型工艺平台中
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