EVG 40NT检测系统
所属分类：
测试与辅助工艺设备
光刻测试
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产品简介：
EVG 40NT是一款主要用于CD尺寸测量和键合对准测量的设备，具有高精度，可作为EVG GEMINI FB中100nm键合精度的验证工具。
主要特点及参数：
·自上而下的显微镜流型测量
·对准精度测量
·CD尺寸测量
·多层厚度测量
·可作为单独的设备使用也可集成于EVG的大型工艺平台中
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