EVG 50检测系统
产品描述
参数
产品简介:
EVG 50是一款高速高精度的厚度测量工具,多用于多层或单层晶圆上各层厚度的测量。
主要特点及参数:
·多层厚度测量
·中间层厚度测量
·键合界面检查
·可作为单独的设备使用也可集成于EVG的大型工艺平台中
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EVG 40NT检测系统
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发布时间:2019-08-21 00:00:00
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