EVG 50检测系统
所属分类：
测试与辅助工艺设备
键合测试
产品附件：
产品简介：
EVG 50是一款高速高精度的厚度测量工具，多用于多层或单层晶圆上各层厚度的测量。
主要特点及参数：
·多层厚度测量
·中间层厚度测量
·键合界面检查
·可作为单独的设备使用也可集成于EVG的大型工艺平台中
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