EVG 105热板
所属分类：
测试与辅助工艺设备
涂胶显影
产品附件：
产品简介：
EVG 105是一款单体配置的热板，用于软烘、硬烘及曝光后烘烤。
主要特点及参数：
·最大可适用于12寸（300mm）晶圆
·温度均匀性可达到±1℃@100℃
·最高烘焙温度可达250℃
·可直接接触烘烤或0-1mm距离烘烤
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