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EVG

EVG 120涂胶喷胶匀胶系统
测试与辅助工艺设备
产品描述
参数

产品简介：

EVG 120是一款全自动晶圆涂胶显影设备，可用于喷胶、旋涂、烘烤、冷却和显影，适用于小规模自动化生产。

 

主要特点及参数：

·最大可适用于8寸（200mm）晶圆

·最多可配置2个工艺模组和10个冷/热板

·专业的化学品外存柜

·采用独特技术减少材料消耗，保证高均匀性

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发布时间：2019-08-21 00:00:00

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