EVG 150涂胶喷胶匀胶系统
所属分类：
测试与辅助工艺设备
涂胶显影
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产品简介：
EVG 150是一款大型全自动晶圆涂胶显影量产设备，可用于喷胶、旋涂、烘烤、冷却和显影，适合大规模自动化生产。
主要特点及参数：
·最大可适用于12寸（300mm）晶圆
·最多可配置6个工艺模组和20个冷/热板
·超声雾化技术使其可以在极端基板地形条件下完成高均匀性的工作
·采用独特技术减少材料消耗，保证高均匀性
·可选配纳米喷涂模块完成在12寸基板上的1：10垂直深腔涂覆
·最高烘焙温度可达250℃
·最多可配置4个FOUP Load ports或Cassette上料装置
·可搬运厚、超薄、易碎、翘曲晶圆
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