产品简介：
EVG 150是一款大型全自动晶圆涂胶显影量产设备，可用于喷胶、旋涂、烘烤、冷却和显影，适合大规模自动化生产。
主要特点及参数：
·最大可适用于12寸（300mm）晶圆
·最多可配置6个工艺模组和20个冷/热板
·超声雾化技术使其可以在极端基板地形条件下完成高均匀性的工作
·采用独特技术减少材料消耗，保证高均匀性
·可选配纳米喷涂模块完成在12寸基板上的1：10垂直深腔涂覆
·最高烘焙温度可达250℃
·最多可配置4个FOUP Load ports或Cassette上料装置
·可搬运厚、超薄、易碎、翘曲晶圆
北京
电话：010-84799262/63/64
地址：北京市朝阳区酒仙桥路14号兆维大厦6层616室
上海
电话：021-64849376 64843544 64757289
地址：上海市徐汇区漕宝路103号自动化仪表城1105室
西安
电话：029-62860558
地址：陕西省西安市太白南路上上国际1215室
深圳
电话：0755-26508560/70
地址：深圳市南山区武汉大学深圳产学研大楼B213
成都
电话：028-87565857
地址：成都市锦江区东大街芷泉段6号时代1号35A08#
山东
电话：0632-5976069
地址：山东省滕州市北辛街道翔宇国际B座1901室
首页底部-MO地图
北京总部
电话：010-84799262/63/64
地址：北京市朝阳区酒仙桥路14号兆维大厦6层616室
上海办事处
电话：021-64849376 64843544 64757289
地址：上海市徐汇区漕宝路103号自动化仪表城1105室
深圳办事处
电话：0755-26508560/70
地址：深圳市南山区武汉大学深圳产学研大楼B213
成都办事处
电话：028-87565857
地址：成都市锦江区东大街芷泉段6号时代1号35A08#
西安办事处
电话：029-62860558
地址：陕西省西安市太白南路上上国际1215室
山东办事处
电话：0632-5976069
地址：山东省滕州市北辛街道翔宇国际B座1901室
