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EVG 610BA对准系统
产品描述
参数
产品简介：
EVG 610BA是一款手动研发型键合对准设备，采用双面光学对准，适合于EVG501、EVG510键合机的键合对准。
主要特点及参数：
·最大支持6英寸（150mm）晶圆
·对准精度：
底部对准精度≤±2μm 3σ
透明对准精度≤±1μm 3σ
·可选配红外对准
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发布时间：2019-08-21 00:00:00
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