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EVG

EVG 610BA对准系统
产品描述
参数

产品简介:

EVG 610BA是一款手动研发型键合对准设备,采用双面光学对准,适合于EVG501、EVG510键合机的键合对准。

 

主要特点及参数:

·最大支持6英寸(150mm)晶圆

·对准精度:

底部对准精度≤±2μm 3σ

透明对准精度≤±1μm 3σ

·可选配红外对准

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发布时间:2019-08-21 00:00:00

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