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EVG

EVG 620BA对准系统
产品描述
参数

产品简介:

EVG 620BA是一款半自动研发型键合对准设备,采用双面光学对准,拥有全自动高分辨率底部摄像头,适合于EVG501、EVG510、EVG520键合机的键合对准。

 

主要特点及参数:

·最大支持6英寸(150mm)晶圆

·支持2层或3层晶圆堆叠对准

·对准精度:

底部对准精度≤±2μm 3σ

透明对准精度≤±1μm 3σ

·可选配红外对准

·可升级至自动对准

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发布时间:2019-08-21 00:00:00

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