EVG SmartView NT对准系统
所属分类：
测试与辅助工艺设备
键合对准
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产品简介：
EVG SmartView NT是一款全自动量产型键合对准设备，适用于三维互连、晶圆级封装、高产量MEMS，可以作为模块集成在EVG560键合设备或者GEMINI平台。
主要特点及参数：
·最大支持12英寸（300mm）晶圆
·支持2层或3层晶圆堆叠对准
·支持：面对面对准、背面对准、红外对准和透明对准
·可升级至自动对准
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