EVG 805解键合系统
所属分类：
测试与辅助工艺设备
临时键合与解键合
产品附件：
产品简介：
EVG 805是一款半自动解键合设备，支持热解、机械解或胶带剥离。
主要特点及参数：
·最大可适用于12寸（300mm）晶圆
·最多可配置1个解键合模组
·可处理薄片
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