EVG 820晶圆贴胶带系统
所属分类：
测试与辅助工艺设备
临时键合与解键合
产品附件：
产品简介：
EVG 820是一款自动晶圆贴胶膜与对准系统，适用于采用胶带的临时键合与预对准。
主要特点及参数：
·最大可适用于12寸（300mm）晶圆
·可作为模组集成于EVG850TB临时键合设备中
·地侧保护膜剥离
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