EVG 820晶圆贴胶带系统
产品描述
参数
产品简介:
EVG 820是一款自动晶圆贴胶膜与对准系统,适用于采用胶带的临时键合与预对准。
主要特点及参数:
·最大可适用于12寸(300mm)晶圆
·可作为模组集成于EVG850TB临时键合设备中
·地侧保护膜剥离
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发布时间:2019-08-21 00:00:00
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