EVG 301晶圆清洗系统
所属分类：
测试与辅助工艺设备
清洗与等离子活化
产品附件：
产品简介：
EVG 301是一款研发型单晶圆清洗设备，采用兆声清洗在键合前对晶圆表面做清洗，提高键合质量。
主要特点及参数：
·最大可适用于12寸（300mm）晶圆
·采用1MHz兆声清洗头，有效去除＞1μm的颗粒
北京总部
电话：010-84799262/63/64
地址：北京市朝阳区酒仙桥路14号兆维大厦6层616室
上海办事处
电话：021-64849376 64843544 64757289
地址：上海市徐汇区漕宝路103号自动化仪表城1105室
深圳办事处
电话：0755-26508560/70
地址：深圳市南山区武汉大学深圳产学研大楼B213
成都办事处
电话：028-87565857
地址：成都市锦江区东大街芷泉段6号时代1号35A08#
西安办事处
电话：029-81120806
地址：西安市高新区锦业路都市之门D座920B
山东办事处
电话：0632-5976069
地址：山东省滕州市北辛街道翔宇国际B座1901室