EVG 320晶圆清洗系统
所属分类：
测试与辅助工艺设备
清洗与等离子活化
产品附件：
产品简介：
EVG 320是一款自动单晶圆清洗设备，采用兆声清洗在键合前对晶圆表面做清洗，提高键合质量。
主要特点及参数：
·最大可适用于12寸（300mm）晶圆
·FOUP-to-FOUP或Cassette-to-Cassette全自动运行
·采用1MHz兆声清洗头，有效去除＞1μm的颗粒
·最多可以配置4个清洗腔室
·机器人处理确保预对准精度
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