EVG 810LT低温等离子活化系统
所属分类：
测试与辅助工艺设备
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产品简介：
EVG 810LT是一款手动单晶圆低温等离子活化设备，采用等离子技术处理晶圆表面，降低键合温度要求，提高键合质量。适合于SOI、MEMS、化合物半导体、和先进基板键合。
主要特点及参数：
·最大可适用于12寸（300mm）晶圆
·无需湿法处理
·高度材料兼容性
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