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EVG

EVG 620NT(NIL)纳米压印系统
产品描述
参数

产品简介:EVG 620NT(NIL)是一款基于EVG620NT光刻机的紫外纳米压印设备,基于Smart NIL掩膜对准技术

主要特点及参数:

·最大支持6英寸(150mm)晶圆

·最高分辨率可达40nm(取决于模版和工艺条件)

·支持汞灯或UV-LED光源

·可选配功能:

键合对准

红外对准

SmartNIL

微接触印刷

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发布时间:2019-08-21 00:00:00

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