产品简介：
EVG 6200NT（NIL）是一款基于EVG620NT光刻机的紫外纳米压印设备，基于Smart NIL掩膜对准技术
主要特点及参数：
·最大支持8英寸（200mm）晶圆
·最高分辨率可达40nm（取决于模版和工艺条件）
·支持汞灯或最新的UV-LED光源
·可选配功能：
键合对准
红外对准
SmartNIL
微接触印刷
北京总部
电话：010-84799262/63/64
地址：北京市朝阳区酒仙桥路14号兆维大厦6层616室
上海办事处
电话：021-64849376 64843544 64757289
地址：上海市徐汇区漕宝路103号自动化仪表城1101室
西安办事处
电话：029-62860558
地址：陕西省西安市太白南路上上国际1215室
深圳办事处
电话：0755-26508560/70
地址：深圳市南山区武汉大学深圳产学研大楼B213
成都办事处
电话：028-87565857
地址：成都市锦江区东大街芷泉段6号时代1号35A08#
山东办事处
电话：0632-5976069
地址：山东省滕州市北辛街道翔宇国际B座1901室
首页底部-MO地图
北京总部
电话：010-84799262/63/64
地址：北京市朝阳区酒仙桥路14号兆维大厦6层616室
上海办事处
电话：021-64849376 64843544 64757289
地址：上海市徐汇区漕宝路103号自动化仪表城1101室
深圳办事处
电话：0755-26508560/70
地址：深圳市南山区武汉大学深圳产学研大楼B213
成都办事处
电话：028-87565857
地址：成都市锦江区东大街芷泉段6号时代1号35A08#
西安办事处
电话：029-62860558
地址：陕西省西安市太白南路上上国际1215室
山东办事处
电话：0632-5976069
地址：山东省滕州市北辛街道翔宇国际B座1901室
