EVG 6200NT（NIL）纳米压印系统
所属分类：
纳米压印光刻系统
纳米压印光刻
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产品简介：
EVG 6200NT（NIL）是一款基于EVG620NT光刻机的紫外纳米压印设备，基于Smart NIL掩膜对准技术
主要特点及参数：
·最大支持8英寸（200mm）晶圆
·最高分辨率可达40nm（取决于模版和工艺条件）
·支持汞灯或UV-LED光源
·可选配功能：
键合对准
红外对准
SmartNIL
微接触印刷
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