EVG 720纳米压印系统
所属分类：
纳米压印光刻系统
纳米压印光刻
产品附件：
产品简介：
EVG720是一款全自动化的紫外纳米压印设备，能在大面积、高产量、低成本的条件下加工出高精度的纳米结构，非常适合于下一代微流控器件、光学器件，例如光学衍射元件（DOE）。
主要特点及参数：
·最大支持6英寸（150mm）晶圆
·最高分辨率可达40nm（取决于模版和工艺条件）
·专有的适用于SmartNIL的多用途聚合物软板技术
北京总部
电话：010-84799262/63/64
地址：北京市朝阳区酒仙桥路14号兆维大厦6层616室
上海办事处
电话：021-64849376 64843544 64757289
地址：上海市徐汇区漕宝路103号自动化仪表城1105室
深圳办事处
电话：0755-26508560/70
地址：深圳市南山区武汉大学深圳产学研大楼B213
成都办事处
电话：028-87565857
地址：成都市锦江区东大街芷泉段6号时代1号35A08#
西安办事处
电话：029-81120806
地址：西安市高新区锦业路都市之门D座920B
山东办事处
电话：0632-5976069
地址：山东省滕州市北辛街道翔宇国际B座1901室