产品简介:
EVG7200LA是一款用于超大尺寸的全自动化的紫外纳米压印设备,主要适合于显示器、生物和光学器件等。
主要特点及参数:
·支持8英寸(200mm)晶圆到GEN3(550*650mm)
·最高分辨率可达40nm(取决于模版和工艺条件)
·专有的适用于SmartNIL的多用途聚合物软板技术
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