EVG 7200LA纳米压印系统
所属分类：
纳米压印光刻系统
纳米压印光刻
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产品简介：
EVG7200LA是一款用于超大尺寸的全自动化的紫外纳米压印设备，主要适合于显示器、生物和光学器件等。
主要特点及参数：
·支持8英寸（200mm）晶圆到GEN3（550*650mm）
·最高分辨率可达40nm（取决于模版和工艺条件）
·专有的适用于SmartNIL的多用途聚合物软板技术
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