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EVG

EVG Hercules NIL纳米压印系统
产品描述
参数

产品简介:

EVG HerculesNIL是一款集成了晶圆清洗、涂胶、烘烤、冷却等工艺的全自动大型紫外纳米压印工艺平台,应用于AR/VR中的光学设备、3D传感器、生物医疗设备、纳米光学和等离子学研究。

 

主要特点及参数:

·最大支持12英寸(300mm)晶圆

·支持包括3D在内的各种结构尺寸形状

·可做200mm和300mm晶圆的桥接

·最高分辨率可达40nm(取决于模版和工艺条件)

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发布时间:2019-08-21 00:00:00

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