产品简介：
EVG HerculesNIL是一款集成了晶圆清洗、涂胶、烘烤、冷却等工艺的全自动大型紫外纳米压印工艺平台，应用于AR/VR中的光学设备、3D传感器、生物医疗设备、纳米光学和等离子学研究。
主要特点及参数：
·最大支持12英寸（300mm）晶圆
·支持包括3D在内的各种结构尺寸形状
·可做200mm和300mm晶圆的桥接
·最高分辨率可达40nm（取决于模版和工艺条件）
北京
电话：010-84799262/63/64
地址：北京市朝阳区酒仙桥路14号兆维大厦6层616室
上海
电话：021-64849376 64843544 64757289
地址：上海市徐汇区漕宝路103号自动化仪表城1105室
西安
电话：029-62860558
地址：陕西省西安市太白南路上上国际1215室
深圳
电话：0755-26508560/70
地址：深圳市南山区武汉大学深圳产学研大楼B213
成都
电话：028-87565857
地址：成都市锦江区东大街芷泉段6号时代1号35A08#
山东
电话：0632-5976069
地址：山东省滕州市北辛街道翔宇国际B座1901室
首页底部-MO地图
北京总部
电话：010-84799262/63/64
地址：北京市朝阳区酒仙桥路14号兆维大厦6层616室
上海办事处
电话：021-64849376 64843544 64757289
地址：上海市徐汇区漕宝路103号自动化仪表城1105室
深圳办事处
电话：0755-26508560/70
地址：深圳市南山区武汉大学深圳产学研大楼B213
成都办事处
电话：028-87565857
地址：成都市锦江区东大街芷泉段6号时代1号35A08#
西安办事处
电话：029-62860558
地址：陕西省西安市太白南路上上国际1215室
山东办事处
电话：0632-5976069
地址：山东省滕州市北辛街道翔宇国际B座1901室
