EVG 770纳米压印系统
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纳米压印光刻系统
纳米压印光刻
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产品简介：
EVG770是一款用于分步和重复工作的紫外纳米压印设备，能有效在衬底上制作复杂的结构。通常用于晶圆级光学的制造和EVG SmartNIL工艺所需的母版。
主要特点及参数：
·最大支持12英寸（300mm）晶圆
·最高分辨率可达50nm（取决于模版和工艺条件）
·可选cassette-to-cassette上下料
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