EVG IQ Aligner（NIL）纳米压印系统
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纳米压印光刻系统
纳米压印光刻
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产品简介：
EVG IQ Aligner（NIL）是一款全自动的紫外纳米压印工艺平台，适合于制造晶圆级透镜成型和堆砌。
主要特点及参数：
·最大支持12英寸（300mm）晶圆
·最高分辨率可达50nm（取决于模版和工艺条件）
·3种独立控制的Z轴控制压印胶总厚度的变化
·可选配涂胶、键合对准、紫外键合模块
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