EVG IQ Aligner(NIL)纳米压印系统
产品描述
参数
产品简介:
EVG IQ Aligner(NIL)是一款全自动的紫外纳米压印工艺平台,适合于制造晶圆级透镜成型和堆砌。
主要特点及参数:
·最大支持12英寸(300mm)晶圆
·最高分辨率可达50nm(取决于模版和工艺条件)
·3种独立控制的Z轴控制压印胶总厚度的变化
·可选配涂胶、键合对准、紫外键合模块
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发布时间:2019-08-21 00:00:00
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