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EVG GEMINI FB晶圆键合系统
产品描述
参数

产品简介:

EVG GEMINI FB是一款全自动具备高精度对准和熔融键合的工艺平台,实现了高程度的集成度和自动化,主要应用于存储器堆叠、BSI图像传感器、SoC等领域的大型量产。

 

主要特点及参数:

·最大支持12英寸(300mm)晶圆

·最多配置6个预处理模块,例如清洗模块、低温等离子处理模块、对准验证模块、解键合模块等。

·采用SmartView NT3最先进的对准技术,最高对准精度<50nm

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发布时间:2019-08-21 00:00:00

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