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EVG

EVG Hercules光刻系统
产品描述
参数

产品简介:

EVG Hercules是一款集成了晶圆清洗、涂胶、烘烤、光刻等工艺的全自动大型工艺平台,具有功能多、产量高的特点。

 

主要特点及参数:

·最大支持12英寸(300mm)晶圆

·支持易碎、薄片及翘曲晶圆的处理

·支持Casettes-to-Casettes全自动运行

·最大可扩展8个湿法模块或24个烘烤、冷却、真空模块

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发布时间:2019-08-21 00:00:00

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