EVG Hercules光刻系统
所属分类：
单面/双面光刻系统
单面/双面光刻
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产品简介：
EVG Hercules是一款集成了晶圆清洗、涂胶、烘烤、光刻等工艺的全自动大型工艺平台，具有功能多、产量高的特点。
主要特点及参数：
·最大支持12英寸（300mm）晶圆
·支持易碎、薄片及翘曲晶圆的处理
·支持Casettes-to-Casettes全自动运行
·最大可扩展8个湿法模块或24个烘烤、冷却、真空模块
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