搜索
Products
Picosun R-200系列ALD原子层沉积体统
产品描述
参数
产品简介：
Picosun R-200系列原子层沉积体统是一款多种能的原子层沉积平台，是用于研发的理想选择，适用于IC器件、MEMS器件、显示器、led、激光、3D物体如镜片、光学、珠宝、硬币、医疗植入物等数十种应用的研发。
主要技术参数：
·适用2-8inch的单片晶圆；
·工艺温度：50-500℃，Advance型号配有等离子处理系统，工艺温度450℃（可选配特定chuck盘至650℃）；
·适用镀膜种类：Al2O3, TiO2, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, ZrO2, AlN, TiN，Pt，Ir等；
·手动上料，可选配机械臂，搬运机器人或Cassette-to-Cassette上料；
·前驱体种类：液体，固体，气体，等离子体，臭氧体等；
扫二维码用手机看
上一个
无
下一个
无
北京
电话：010-84799262/63/64
地址：北京市朝阳区酒仙桥路14号兆维大厦6层616室
上海
电话：021-64849376 64843544 64757289
地址：上海市徐汇区漕宝路103号自动化仪表城1101室
西安
电话：029-62860558
地址：陕西省西安市太白南路上上国际1215室
深圳
电话：0755-26508560/70
地址：深圳市南山区武汉大学深圳产学研大楼B213
成都
电话：028-87565857
地址：成都市锦江区东大街芷泉段6号时代1号35A08#
山东
电话：0632-5976069
地址：山东省滕州市北辛街道翔宇国际B座1901室
首页底部-MO地图
发布时间：2019-08-21 00:00:00
北京总部
电话：010-84799262/63/64
地址：北京市朝阳区酒仙桥路14号兆维大厦6层616室
上海办事处
电话：021-64849376 64843544 64757289
地址：上海市徐汇区漕宝路103号自动化仪表城1101室
深圳办事处
电话：0755-26508560/70
地址：深圳市南山区武汉大学深圳产学研大楼B213
成都办事处
电话：028-87565857
地址：成都市锦江区东大街芷泉段6号时代1号35A08#
西安办事处
电话：029-62860558
地址：陕西省西安市太白南路上上国际1215室
山东办事处
电话：0632-5976069
地址：山东省滕州市北辛街道翔宇国际B座1901室
