磁控溅射台
所属分类：
PVD
微纳加工中心
产品附件：
产品简介：
磁控溅射镀膜设备是一款追求低成本和用户友好操作的磁控溅射设备，通过增加配有机械手d装载固定腔室（Load lock chamber）使在上下基板时工艺腔室仍保持真空。
主要技术参数：
·适用于小于8inch的各种基板；
·配备最高300℃的基本加热装置，可选配最高600℃的基本加热装置；
·可选配RF源；
·膜厚均匀性好于±5%；
北京总部
电话：010-84799262/63/64
地址：北京市朝阳区酒仙桥路14号兆维大厦6层616室
上海办事处
电话：021-64849376 64843544 64757289
地址：上海市徐汇区漕宝路103号自动化仪表城1105室
深圳办事处
电话：0755-26508560/70
地址：深圳市南山区武汉大学深圳产学研大楼B213
成都办事处
电话：028-87565857
地址：成都市锦江区东大街芷泉段6号时代1号35A08#
西安办事处
电话：029-81120806
地址：西安市高新区锦业路都市之门D座920B
山东办事处
电话：0632-5976069
地址：山东省滕州市北辛街道翔宇国际B座1901室