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ULVAC ei-5z系列蒸发台
产品描述
参数
产品简介：
ULVAC ei-5z系列高真空蒸发镀膜设备是一款可同时安装电子束蒸发和热蒸发源的多功能蒸发台，可用于各种金属、合金、非金属蒸发镀膜，可做垂直入射蒸发工艺，可做穿墙式设计，采用全自动控制，稳定，高效。
主要技术参数：
·适用于2-8inch各种形状的Si、GaAs、玻璃陶瓷等基板；
·采用低空泵，可在20min内达到3.0*10-4Pa，极限压强可达3.0*10-5Pa或更低；
·采用电子束或热蒸发源，挡板共用；
·膜厚均匀性好于±5%；
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发布时间：2019-08-21 00:00:00
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