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产品简介:
主要特点及参数:
·支持2"-8"基片;
·配置预真空锁/Loadlock,带有取放机械手;
·绝缘、冷却和加热电极 (-30℃~ 250℃);
·干涉式终点探测和刻蚀深度测量系统;
·工艺特点:高速率、低损伤、高工艺一致性,且适合于高深宽比结构。
北京总部
电话:010-84799262/63/64
地址:北京市朝阳区酒仙桥路14号兆维大厦6层616室
上海办事处
电话:021-64849376 64843544 64757289
地址:上海市徐汇区漕宝路103号自动化仪表城1101室
西安办事处
电话:029-62860558
地址:陕西省西安市太白南路上上国际1215室
深圳办事处
电话:0755-26508560/70
地址:深圳市南山区武汉大学深圳产学研大楼B213
成都办事处
电话:028-87565857
地址:成都市锦江区东大街芷泉段6号时代1号35A08#
山东办事处
电话:0632-5976069
地址:山东省滕州市北辛街道翔宇国际B座1901室
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