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CentroTherm ACTIVATOR150激活炉
产品描述
参数
【产品简介】
centrotherm c.ACTIVATOR 150高温炉生产线，用于碳化硅（SiC）或氮化镓（GaN）器件的离子注入后退火c.ACTIVATOR 150有各种各样的版本可供作为研发与系列生产加热炉使用，具有很高的工艺灵活性。商先创公司特殊的无金属加热设计使加工温度提高到2000°C，并缩短了加工周期时间。由于占地面积小，拥有成本低，c.ACTIVATOR 150有利于提高生产的成本效益。
【适用工艺】
·GaN和SiC晶圆的退火
·石墨烯的生长
【产品优点】
·激活效率高
·最高稳定可达2000℃的工艺温度
·支持2-6寸晶圆
·可批量处理5-50片晶圆
·升温速率可达100K/min
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发布时间：2019-08-21 00:00:00
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